摘要:高压直流电源主要是产生单一波长的电子束,透射电子显微镜电子枪发射电子束的稳定性则取决于高压电源的高压输出稳定度和纹波,这两项指标直接影响着透射电子显微镜的分辨率.具备高稳定度和低纹波的高压电源对高分辨率的透射电子显微镜至关重要.本论文从分析恒定电阻负载推导出高压直流电源的纹波公式,通过研究分析电子枪电流和结构之间的关系,推导出高压直流电源纹波表达式.并且进一步通过电子光学仿真计算软件,对电子枪的结构及电学参数和高压直流电源稳定性之间的关系进行了全面分析研究.
关键词:电子枪 高压电源 稳定度 仿真
单位:北京航天航空大学微纳测控与低微物理教育部重点实验室、仪器科学与光电工程学院; 北京; 100191
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