摘要：真空中沿面闪络现象是制约真空设备耐压强度的一个重要因素，采用多层高梯度绝缘技术，比传统绝缘结构能显著提高击穿场强。介绍了该技术的研究现状，并从真空沿面闪络的二次电子崩理论入手，分析该结构对闪络过程的影响。同时，从小间隙串联的模型以及对外加电场的影响两方面，解释了多层高梯度绝缘结构可以提高绝缘性能的原因，它与公开的实验现象和结论也比较符合。

关键词：多层高梯度绝缘技术 真空闪络 二次电子崩 小间隙 电场畸变 

单位：中国科学院电工研究所; 北京100080; 中国科学院研究生院; 北京100039