摘要：根据户外照明系统自清洁功能的需求,基于光学薄膜理论,对复合膜折射率和质量配比进行了理论分析与模拟,采用电子束共蒸发技术镀制TiO_2/Al_2O_3复合膜,并对其做真空退火处理.在单晶控系统中,通过控制左右两电子枪的束流,镀制了不同质量配比复合膜.亲水性测试和甲基橙实验表明,复合膜中TiO_2的质量配比越高,自清洁效果越好,但亲水性和可见光透过率会降低.对不同质量配比的复合膜进行了检测和分析,并通过调整质量配比来优化试验方案,结果表明,TiO_2/Al_2O_3质量配比为9：1时,该薄膜既具有自清洁亲水作用,又具较高的可见光透过率.

关键词：薄膜 户外照明灯罩 电子束共蒸发 退火 自清洁 

单位：长春理工大学光电工程学院; 长春130022