摘要：多年来虽然摩尔定律已走到极限的说法不绝于耳，但是半导体工艺的进步却从来没有停止。目前特征尺寸32nm的半导体工艺已成熟，大量用于高端芯片的制造。在不断缩小工艺尺寸的同时，结构上的改进也在进行。2011年5月4日。

关键词：计算机技术 半导体工艺 摩尔定律 特征尺寸 工艺尺寸 

单位：中航工业计算所