摘要:介绍了表面微坑超声加工的基本原理,分析了相位控制频率跟踪的原理及实现方法,给出了表面微坑超声加工装置超声电源的总体结构.并采用PIC单片机、74HC4046锁相环、UC3875移相控制器等器件设计并实现了具有频率自动跟踪、输出功率可调节的超声电源.表面微坑超声加工试验表明,该超声电源可实现频率自动跟踪,且工作稳定,满足表面微坑超声加工的要求.
关键词:超声电源 微坑 频率跟踪 移相控制
单位:杭州电子科技大学; 机电工程学院; 浙江; 杭州; 310018
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