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基于ILC的压电微动平台正弦扫描运动控制

黄金永; 屠立; 张炜 机电工程 2005年第11期

摘要:研究了采用压电驱动器和柔性铰链结构的微动平台的正弦运动控制.首先分析了压电驱动器的滞回和非线性特性,建立了平台的传递函数;然后结合平台作正弦运动具有周期性的特点,提出了采用迭代自学习的控制策略并进行了实验研究.结果表明,微动平台的输出位移波形的精度和失真度得到了较大的改善,并成功应用于某激光测量扫描系统中.

关键词:压电驱动器微动平台迭代自学习非线性

单位:浙江机电职业技术学院; 浙江; 杭州; 310053

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机电工程

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