摘要：为了提高单晶硅太阳能电池的光电转换效率,提出了在单晶硅的表面制作微结构。对微结构的提取,根据单晶硅片表面形貌的特性,选用了提升小波（采用的基小波为bior4.4）。数据处理结果表明,提升小波能将单晶硅表面的微结构很好地提取出来,可以有效地消除边界和畸变效应等问题。对提取的形貌特征进行了特征量的计算,实验数据表明单晶硅表面现有的微结构工艺方法有较大改善的可能性。

关键词：表面形貌 单晶硅 微结构 特征提取 

单位：杭州电子科技大学机械工程学院 浙江杭州310018