摘要：针对固晶机设备对固晶机构的高速、高稳定性要求，基于采用曲柄摇杆结构的固晶机构的三维实体模型，以ANSYSWorkbench有限元分析软件为基础，利用ANSYSWorkbench—ADAMS联合仿真及ANSYSWorkbench的静力、动力学仿真模块这两种柔性动力学分析方法，对固晶臂机构末端工作位置的运动、动力学特性进行了仿真分析。研究结果表明，ANSYSWorkbench模块仿真方法与Workbench—ADAMS联合仿真相比，仿真结果具有一致性，但其仿真过程相对简单，便于操作；其仿真结果可为固晶机构后续的设计优化提供依据。

关键词：固晶机 四连杆机构 有限元分析 柔性动力学分析 ansys 

单位：北京交通大学机械与电子控制工程学院 北京100044