摘要：为实现层压器内温度和压力两项物理参数的自动控制，设计了一种新型的层压器控制系统。该系统的测量单元包括铂金电阻（PT100）温度传感器和扩散硅压力传感器，执行机构包括可控硅和智能电动球阀，过程控制由比例积分微分（PID）调节器完成，调节器通过控制执行机构调节温度和压力，从而使温度和压力按照设定的经验工艺曲线变化；此外，为便于分析数据和组成分层系统，设计了上位机软件，按照一定的通讯协议从调节器获取数据和下达指令。在控制现场，采用了临界比例度法和经验凑试法寻找最适合系统的PID参数，并根据上位机记录的实际工作曲线与设定曲线的耦合度分析了运行效果。研究及试验结果表明，该系统的温度设定值与实际值的误差在±1℃以内，压力稳定在±0．02MPa以内，实际工作曲线与设定曲线基本吻合，系统运行稳定，可以满足工艺需求。

关键词：层压器 pid调节器 过零触发 集散控制 参数整定 

单位：杭州电子科技大学新型电子器件与应用研究所 浙江杭州310018