摘要：针对轴系对中测试系统的核心器件一位置敏感探测器（PSD）存在较大非线性误差、PSD输出坐标不能正确反映入射光点实际位置的问题，为提高对中的测试精度，设计了基于PI微位移平台的在线校定装置，提出了基于BP神经网络的非线性校正算法，进行了数据采集和非线性校正实验，并对采集数据和校正后数据分别进行了Matlab仿真分析。研究结果表明，基于BP神经网络的算法实用高效，采用该算法校正后的PSD线性度误差均低于3．9μm，极大地减少了非线性的影响，使得B区的线性度和数据置信度得到了大幅改善，在不增加成本和设备复杂度的前提下，有效提高了整个对中系统的精度。

关键词：二维位置敏感探测器 非线性校正 人工神经网络 微位移平台 

单位：长春理工大学机电工程学院 吉林长春130022