摘要：针对氧化锆陶瓷平面零件的超光滑表面加工问题，将两种超精密研磨工艺应用到氧化锆零件加工中。研究了研磨液和磨料粒径对零件表面粗糙度的影响，分析了不同加工阶段的材料去除机理，同时发现工件表面孔隙的致密性会降低氧化锆零件的可加工性能，并采用了致密性更好的氧化锆材料在使用相同工艺情况下进行了实验对比。研究结果表明，采用金刚石油膏研磨加工得到了表面粗糙度为12．9nm的超光滑表面，在“采用Al2O3研磨液，并使用SiO：作为抛光工序”的条件下，得到了表面粗糙度为6．55nm的超光滑表面，并且在选用致密性更好材料进行加工后，得到了表面粗糙度为4．72nm的超光滑表面。

关键词：氧化锆陶瓷 超精密研磨 表面演变 致密性 

单位：浙江工业大学超精密加工中心 浙江杭州310014