摘要：针对三镜支撑机构需要应对重力影响以及温度变形的问题,对三镜的支撑方法进行了研究,提出了一种基于运动学原理的支撑设计;对支撑点位置进行了优化,通过ANSYS上的优化分析模块,以RMS值为指标,优化出了支撑点的位置;对不同重力方向作用下的三镜面型进行了有限元分析,得到了重力方向与反射镜面型的关系曲线;利用ZYGO干涉仪对支撑前后的三镜面型进行了试验检测,实测重力作用下的RMS值为0.021λ,支撑后仅增大0.002λ。研究结果表明,该支撑方法通过令柔性三点底支撑与中心侧支撑互相解耦,能够减小重力作用或者温度变化时,因变形不协调而产生的集中应力,从而拥有良好的面型。该支撑方法是可靠的,优化出的支撑点位置是可行的。

关键词：运动学原理 三镜支撑 优化分析 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033