摘要：为了实现对多层薄膜结构厚度进行快速准确的测量和无损定量评价,研制了二维光学相干层析（Optical Coherence Tomography,OCT）系统,避免了传统一维OCT系统逐点扫描导致成像效率低下的问题。阐述了去除OCT共轭镜像理论,采用了五步相移干涉法,具体由压电驱动器驱动参考镜实现,做到了对OCT共轭镜像的去除,避免出现OCT图像的混叠。所研制的OCT系统具有极高的系统分辨率和较好的信噪比,可以实现对手机钢化玻璃薄膜内部四层结构厚度（钢化玻璃、静电胶层1、防爆贴膜和静电胶层2）进行准确测量。实验结果表明：自研制的系统可快速高精度地对多层薄膜结构厚度进行测量,可以推荐使用在多层薄膜的无损定量评价中。

关键词：干涉条纹 光学相干层析 多层薄膜结构 厚度测量 

单位：漳州职业技术学院电子工程系; 福建漳州363000; 福州大学机械工程及自动化学院光学/太赫兹及无损检测实验室; 福建福州350108; 福建省医疗器械和生物技术重点实验室; 福建福州350000; 厦门市特种设备检验检测院; 福建厦门361000