摘要：针对已有悬浮抛光装置研磨不平稳从而引起的加工表面质量不高问题,对液动压悬浮抛光方法、声悬浮抛光方法和磨料水射流抛光方法等表面超光滑加工技术进行了分析研究,提出了一种基于气压浮动的防碰撞悬浮抛光方法。根据静压气体润滑原理,建立了防碰撞装置的径向承载力计算模型,通过提高侧向承载力与刚度,同时减小泄气量,使径向承载力可以克服偏心力,从而促使防碰撞装置自动归位;利用Fluent软件建立了防碰撞装置流体仿真计算模型,计算得到了防碰撞装置沿轴向的压力分布情况。研究结果表明：基于气压浮动的防碰撞悬浮基盘抛光方法可以提高表面抛光质量;仿真计算结果和理论计算结果偏差小于6%,防碰撞装置和基盘的偏心率小于0. 2,防碰撞装置具有良好效果。

关键词：浮法抛光 防碰撞 气浮 fluent 

单位：浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室; 浙江杭州310014