摘要：获得系统的宏模型是MEMS系统级建模与仿真的关键.将Krylov子空间理论与方法应用于MEMS降阶建模,介绍了Krylov子空间的理论基础,针对MEMS中常见的静电-结构耦合系统,建立了有限元动力学方程,运用修正Arnoldi算法得到降阶模型.算例表明,经大幅度降阶得到的模型真实地反映了系统地运动状态,大大缩短了求解时间,降低了计算复杂度.

关键词：mems 子空间 宏模型 耦合 有限元 

单位：厦门大学机电工程系; 厦门; 361005