摘要：旋转超声加工是加工硬脆材料的一种较好方法.为实现长时间连续稳定工作,必须使用厚电极的超声换能器振子.目前,对厚电极换能器振子的研究较少,使用时一般采用近似计算与试验调整相结合的方法.为精确设计厚电极换能器振子,推导了单个厚电极换能器振子的频率方程,并使用模态试验分析和有限元仿真相结合的方法进行了验证,结果表明:在给定的电极厚度范围内,换能器振子的谐振频率误差小于5%,完全满足工程应用的需要.

关键词：超声换能器振子 厚电极 频率方程 超声加工 

单位：清华大学机械系; 北京; 100084; 清华大学基础工业训练中心; 北京; 100084; 清华大学精仪系; 北京; 100084