摘要：针对工作于双边支承模式下的有源静电球轴承系统,导出了描述静电力非线性与耦合特性的幂次模型与近似模型,并根据静电力的数值解对两种模型的误差特性进行了比较与分析.分析表明,幂次模型与近似模型分别适于描述静电悬浮系统在支承与起支状态下的静电力特性.对实现静电轴承任意姿态起支的条件进行了分析,并根据导出的静电力近似模型,给出了不同姿态下的起支仿真结果.

关键词：静电轴承 静电力 起支 耦合非线性 

单位：清华大学精密仪器与机械学系; 北京; 100084