摘要：利用压电聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinilidene fluoride)薄膜和压电微音叉(Micro-fork),分别与钨探针结合,构成了三种新型的表面轮廓扫描测头.该新型测头与x-y压电工作台结合,采用与TM-AFM(Tapping mode atomicforce microscope)相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜.分别介绍了这些测头的构成及特点,给出了所构成测量系统所获得的试验结果,证明了这几种新型扫描测头的有效性.
关键词：聚偏氟乙烯 微音叉 扫描探针 测头 扫描探针显微镜
单位：合肥工业大学仪器仪表学院; 合肥; 230009; 东京工业大学精密工学研究所; 横滨; 226-8503
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