摘要：项目名称：基于碳纳米管场发射的纳机电力传感技术研究 项目批准号：50375083 项目负责人：叶雄英 教授 博士生导师 负责单位：清华大学 研究内容：碳纳米管具有许多独特的优良特性，良好的场发射特性是其重要特性之一。本项目的目标是研究基于碳纳米管的纳机电（NEMs）力传感技术，利用MEMS技术与碳纳米管场发射结合，实现高灵敏度纳机电力传感器的原型，初步实现NEMS加速度计。主要开展了以下工作：碳纳米管场发射的距离敏感性研究；基于碳纳米管场发射的MEMS加速度计的设计、建模和仿真研究；碳纳米管图形化淀积方法研究；MEMS制作工艺与图形化淀积碳纳米管工艺的结合的研究；

关键词：资助项目成果 国家自然科学基金 mems技术 场发射特性 碳纳米管 

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