首页 > 期刊 > 机械工程学报 > 国家自然科学基金资助项目成果介绍 【正文】
摘要:研究成果:微电子系统中芯片的高集成度及功耗的不断增大,使IC芯片线宽尺寸急剧减小,导致了致命的高热流密度。从芯片散热器柱表面三维微功能结构微犁/拉削机理,表面微功能结构作用、设计及微功能结构多(微)尺度效应等方面进行研究。建立柱面三维微功能结构生成的数学模型,确定微犁/拉削刀具几何参数和加工参数,
关键词:国家自然科学基金 资助项目成果 ic芯片 功能结构 刀具几何参数
单位:
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