摘要：设计并采用微机电系统工艺加工制备了一种微型左右手复合传输线宽带滤波器。器件主要结构由两条平行的金属蛇形线构成，蛇形线的末端接有金属圆片作为接地单元。蛇形线对产生左右手电感和电容。通过改变蛇形线的单元数目，即可改变器件的工作频率，并且，该复合传输线单周期即可体现左手材料特性。给出了器件的电磁场仿真结果，可以看到在左手频带中磁场沿着与能量相反的方向传输，测试结果得出8单元样品通带范围为0．99~2．09GHz，中心频率为1．54GHz，相对3dB宽度为71．42％。4单元样品通带范围1．84~3．36GHz，中心频率为2．60GHz，相对3dB宽度为58．46％。

关键词：左右手复合传输线 宽带滤波器 左手材料 

单位：上海交通大学微米纳米加工技术部级重点实验室 上海200240 上海交通大学微纳科技研究院 上海200240 同济大学物理系 上海200092