摘要：以压电驱动的无阀微泵为研究对象，根据扩张管／收缩管的压力损失系数和连续方程，建立了无阀微泵的理论模型。利用有限元分析软件，建立了无阀微泵有限元模型，进行了耦合场仿真分析。模拟并分析了不同边界条件下驱动电压、电压频率、泵膜厚度、压电薄膜厚度和压电材料对无阀微泵输出特性的影响。仿真结果显示，无阀微泵具有很好的整流特性，并且驱动电压越大，输出特性越好。在局部固定边界条件下，当压电薄膜上施加电场强度为500V／nun的驱动电压时，存在最优的压电薄膜厚度，使得微泵的输出流量最大。研究结果为无阀微泵的优化设计提供了依据。

关键词：无阀微泵 压电驱动 数值计算 结构优化 

单位：上海交通大学机械工程与动力学院 上海200030 马里兰大学学院市分校 盖瑟斯堡 20899 美国