摘要：在综合分析当前生物粒子微操纵技术的基础上，设计一种基于光诱导介电泳技术的微操纵芯片，并完成芯片关键部件——光电导薄膜的加工。在准静态电场条件下，对光斑操纵模式进行建模仿真，光斑光强服从高斯分布，光斑尺寸直接影响电场平方梯度的分布，随着光斑尺寸缩小电场平方的x向梯度峰值增大，而随着高度升高电场平方的x向梯度峰值急剧减小。最后通过光诱导介电泳测试平台对单粒子操纵性能进行试验验证。试验结果表明，在去离子水中，当电压峰一峰值为20V，频率1MHz时，粒子受负介电泳作用而远离光斑，并且在光斑模式下直径50um的粒子移动的最大速度可达45μm／s；而在环型虚拟电极模式下能有效控制单粒子运动方向。

关键词：光诱导介电泳 微粒操纵 有限元法 

单位：东南大学机械工程学院 南京211189 东南大学江苏省微纳生物医疗器械设计与制造重点实验室 南京211189