摘要：为解决生物、化学、医药等领域通量化试验操作中不同种类、体积液体试剂频繁操作过程中精度、灵活性降低等问题,满足微量、精确、快速灵活的试剂定量分配要求,研制集成MEMS微流量传感器的具有分配液体体积自适应调整功能的通量化液体非接触式分配系统。介绍系统的组成原理,提出基于复合智能模糊控制的分配体积闭环控制方法,减小系统延迟、流速波动和剩余试剂体积动态变化等因素对分配精度的影响,实现通量化试剂分配过程中控制参数的自校准和分配体积的精确控制;针对具有不同粘度、期望体积的液体试剂进行分配试验,验证复合智能模糊控制方法的优越性。结果表明采用该控制方法后该系统分配1μL以上体积试剂时重复精度（用变异系数表示）小于3%;当分配体积100nL时,分配重复精度小于4%,具有较好的分配重复精度。

关键词：微量试剂分配 智能模糊控制 mems流量传感器 

单位：哈尔滨工业大学仪器科学与技术博士后流动站 哈尔滨150001 哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室 哈尔滨150001