摘要：1项目负责人及所在单位：闫永达,哈尔滨工业大学 2起止年限：2007年1月～2009年12月 3项目简介 针对纳米电子器件对有序自组装纳米结构的迫切需求,建立了基于AFM的纳米机械刻划加工系统,采用分子动力学仿真方法研究了探针纳米机械刻划加工机理,深入研究了刻划方向、垂直载荷、进给量、样品材料等因素对加工结构深度、表面质量和精度的影响规律,最终加工出适用于调控自组装过程的二维和三维微纳结构。

关键词：结构形成机理 加工技术 纳米结构 自组装 afm 

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