摘要：基于分子动力学的晶体铜纳米机械加工表层形成机理研究 博士：张俊杰 指导教师：孙涛闰永达 毕业学校：哈尔滨工业大学 作为纳米技术分支之一的纳米加工技术是在纳米尺度范围内制造物理、化学和生物等功能结构与器件的基础，已经成为衡量纳米技术发展水平的重要标志。纳米机械加工技术如金刚石刀具车削、金刚石磨粒加工以及金刚石微探针纳米刻划等可以使加工精度达到纳米量级、加工形成的结构与器件的尺寸达到纳米量级，为制造三维纳米结构与器件提供了创新的途径，是一种重要的由上而下的纳米加工技术。

关键词：机械加工技术 纳米尺度 分子动力学 机理 表层 

单位：