摘要：随着微机电系统（Micro-electro-mechanical systems,MEMS）越来越复杂,对微装配、微操作的微力测量要求越来越高。根据微夹持视觉导航与夹持力传感的要求,研究一种面向微夹持器的柔顺结构视觉力传感单元。该传感器单元与微夹持器采用结构一体化设计思想,加工简易,可在同一视场内实现视觉导航与夹持力传感。通过提出集成该视觉力传感单元的微夹持器构想,推导该视觉力传感单元的力-位移理论关系,建立基于散斑数字图像相关（Digital image correlation,DIC）方法的精密位移测量方法,构建该柔顺结构力传感单元。在此基础上,基于柔顺结构力传感单元的放大模型,建立验证力传感单元的力-位移关系的试验系统,进行传感单元的力-位移关系试验研究。研究表明,所提出的柔顺结构视觉力传感单元测量性能达到预期要求。

关键词：力传感 柔顺结构 数字图像相关 

单位：华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室 广州510640