摘要：针对一种用于丝网印刷的平面3自由度（Three—degree．of-freedom，3-DOF）并联平台，提出一种基于视觉测量的分步递进的运动学标定方法，解决这类特殊平面并联平台的运动学标定问题。结合矢量法和解析法，建立终端位置和姿态误差与几何误差之间的映射关系，得到误差雅可比矩阵。兼顾测量成本和实用性，搭建双相机全位姿视觉测量系统，通过高精度光刻玻璃进行标定。基于精密视觉测量，对并联平台的重复定位精度进行评估，在此基础上，设计一种分步递进的误差测量、参数辨识、误差补偿试验方案。标定后，终端最大位置误差从标定前的316μm下降至9μm，最大姿态误差从标定前的3．5×10^-3°降至1．7×10^-3°，该试验结果表明并联平台的终端定位精度得到了显著改善，验证了分步递进的运动标定方法的有效性。

关键词：并联平台 误差建模 视觉 运动学标定 

单位：华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室 广州510640