首页 > 期刊 > 机械工程学报 > IC薄芯片拾取建模与控制研究 【正文】
摘要:Ic芯片的无损精确操作与转移是电子封装的核心支撑技术之一,直接影响到电子器件封装成品的最终性能、成本、小型化以及服役可靠性与寿命,特别在Ic芯片薄型化的趋势下意义更加显著。论文对芯片拾取的剥离机理与失效评估、工艺控制和新型机构等关键问题进行了系统深入的研究,取得了一些理论与实验成果,主要研究工作和创新之处体现在:
关键词:工艺控制 薄芯片 拾取 建模 ic
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