摘要：采用容性平行电极板和针管电极相结合的形式实现了超低气压下的射频辉光放电,通过实验探究了10-3 Pa量级下的辉光放电的起辉条件,分析了工作气流量大小的影响,得到了电压和电流的关系、辉光放电形貌变化以及放电的发射光谱,并通过计算得到该条件下的电子密度。

关键词：低气压 射频辉光 等离子体 复合型电极 

单位：华北理工大学河北省工业机器人产业技术研究院; 河北唐山063210; 清华大学工程物理系; 北京100084