摘要：随着微机电系统的发展,机构的特征尺寸及相互间距通常处于微米、纳米量级,因此需要考虑量子力的影响,如Casimir力.首先对平行平面间的Casimir力进行分析,表明随着间距的减小Casimir力会迅速增大,然后根据实际情况得出微弹簧震子的结构模型,通过对模型的受力和动力学研究发现,机构发生粘附效应不仅与其自身的特征参数C有关,还同被粘附构件的初始位置或初始能量有关.

关键词：casimir力 微机械 稳定性 

单位：江苏省交通厅航道局; 工程科; 江苏; 南京; 210005; 江苏大学; 微米/纳米科学技术研究中心; 江苏; 镇江; 212013