摘要：超精密进给系统是保证零件尺寸加工精度的重要因素。文中以压电陶瓷作为驱动器构建了微位移机构，讨论了系统的总体结构，研究和分析了系统模型和控制方法，通过实验计算得到前馈控制模型数据，并在此基础上对超精密进给闭环控制系统进行方案设计。最后进行了超精密进给系统在磨床上的应用及其性能测试，并对实验结果进行了分析。

关键词：压电陶瓷 超精密进给 微位移机构 

单位：东华大学机械工程学院 上海201620