摘要：专用微电子设备与一般的通用、数控设备既存在许多相通,又有其独特的专用性与不同。现代微电子设备本身不仅包含了机械、电气技术,而且还包含各种传感器技术、电源、真空、制冷、激光、超声、焊接等各门类的知识。这就要求微电子专用设备维修人员不但要精通常用的维修技术、外语知识等,而且要不断扩大相关的专业知识面,要熟悉、精通微电子专用设备的专用性工作原理,所生产的微电子产品加工工艺等,因而对微电子设备的维修管理人员提出了更高要求。为了保障好专用微电子设备正常可靠运行,笔者有以下几点经验与微电子专用设备的维修人员交流。

单位：中国电子科技集团第二十九研究所; 成都市