摘要：介绍了一种具有更高加工分辨率且可直接成型3维复杂微系统的一次曝光型微立体光刻成型样机MicroSLer,及其配套专用光敏树脂Micro SL5220.重点给出了MicroSLer中经薄膜晶体管阵列编址的液晶显示光阀表盘,也即可控透光模板的构造、性能及其对MicroSLer层面加工分辨率和截面曝光尺寸的影响.对比了MicroSLer的国产配套光敏树脂Micro SL5220与国外同类产品DSM7110型光敏树脂的各项技术指标.为证明一次曝光型微立体光刻工艺在成型3维复杂微结构时的优越性,给出了经MicroSLer成型出的微机械部件、微型件浇铸模、微流体系统部件等实物的扫描电子显微照片及相关的加工参数.探讨了现阶段的传统立体光刻工艺、小光斑立体光刻工艺及微立体光刻工艺在加工分辨率方面的差异,分别指出了影响这3种立体光刻成型分辨率的关键因素.

关键词：微成型 立体光刻 快速成型 微机械 光敏树脂 

单位：南京理工大学机械工程学院; 南京; 210094; 动力工程多相流国家重点实验室; 西安; 720049; Swiss; Federal; Institute; of; technology; Lausanne; Switzerland