摘要：压电微位移驱动器是一种利用压电材料逆压电效应制作的微位移器,具有体积小,分辨率高,重复性好,不产生热等优点,然而压电驱动器也具有滞回、蠕变、严重的非线性等不良特性,给驱动器精确定位带来误差,使驱动器电压位移转换信号失真.为使压电驱动器输入输出具有线性度,常用的方法是对驱动电源进行电压补偿来实现线性化.这里提出一种实用新颖的电源线性化方法-基于迭代自学习控制(ILC)策略的线性化方法,该法具有在线、快速的优点,且可实现动态线性化补偿.

关键词：电源线 线性化 压电驱动器 自学习控制 微位移驱动器 

单位：浙江大学生产所; 流体传动与控制国家重点实验室; 杭州; 310027