首页 > 期刊 > 仪器仪表学报 > 测量Fabry-Perot标准具平面度的一种新方法 【正文】
摘要:介绍了一种测量Fabry-Perot标准具平面度的新方法.通过测量F-P干涉环的直径计算出Fabry-Perot标准具的平面度,测量的不确定度可达λ/1800.
关键词:平面度
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