摘要：钨探针是扫描隧道显微镜(STM)常用探针之一.为了将钨探针应用于扫描探针显微镜(SPM),根据钨探针的受力,通过理论分析确定了钨探针的理想轮廓:钨探针的直径变化应具有指数曲线.为了获得指数曲线轮廓、尖锐测头等良好特性的钨探针,分别提出并研究了改进的钨探针液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法.通过这两种电化学研磨法获得的探针以及通过传统的交流电化学研磨法获得的钨探针,分别在探针的形状、探针尖端曲率半径、表面质量、研磨速度、可复现性等多个方面进行了观察和比较.通过实验发现,除了研磨速度外,改进的液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法在其他各方面都优于交流电化学研磨法.

关键词：探针制备 指数曲线 研磨法 观察 直流电 

单位：合肥工业大学仪器仪表学院; 合肥; 230009; 东京工业大学精密工学研究所; 横滨; 226-8503; 东京工业大学精密工学研究所; 横滨; 226-8503