摘要：半导体激光吸收光谱气体浓度分析仪器可现场在线分析工业过程气体浓度,具有无需采样预处理、响应速度快、不受背景气体和粉尘影响以及适应恶劣工业环境能力强等突出优势.在介绍调制吸收光谱基本原理的基础上详细介绍了仪器的性能特点和组成结构.实验显示该仪器具有小于±1%的线性误差和长时间稳定性.现场应用证实了该仪器优越的工业环境适应性和高可靠性.

关键词：半导体激光吸收光谱 调制吸收光谱 气体浓度 工业过程 

单位：杭州电子科技大学电子信息学院; 杭州; 310018; 聚光科技(杭州)有限公司; 杭州; 310012