摘要：光源不同扫描方式直接影响PSD对位置探测的准确性.给出直接扫描和光照稳态后扫描两种方式照射下一维PSD的解析解,以及光入射位置的计算值与实际值的误差曲线.结果表明,两种扫描方式造成光生电流的输出范围不同,光照稳态后扫描方式比直接扫描方式能更真实的反映光入射位置信息,能够获得较高的探测精度.

关键词：光源 扫描方式 一维psd 响应特性 光生电流 

单位：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院; 北京100083