摘要：在构建四象限光电探测器的测量／对准系统数学模型的基础上，提出了一种搜寻算法，以优化系统，使得对准模型具有线性化的输入输出关系，且具有非常高的选择性。系统仿真结果表明，在四象限光电探测器光电转换系数为常数情况下，所提出的模型优化方法正确可行。掩模板位置偏移量与光电探测器的输出具有线性关系，不论是在横向方向还是纵向方向，而且消除了x,y两个方向偏移量的交叉敏感，这使得消除四象限光电探测器安装位置偏差带来的影响成为可能，提高了探测器的应用效率和测量／对准的准确度。模型的实测结果表明，经优化后的系统微位移检测误差与对准误差均小于2μm。

关键词：四象限光电探测器 对准 线性化设计 优化 

单位：西安交通大学电气工程学院 西安710049 西安理工大学自动化与信息工程学院 西安710048 西安理工大学计算机科学与工程学院 西安710048