摘要：针对粉末烧结型SnO2基气体传感器功耗大、交叉敏感、工作温度高的问题，研制了多层复合薄膜型气体传感器，以抛光的耐热石英玻璃为基片，真空磁控溅射50～70nm厚度的SnO2薄膜，在SnO2薄膜上分别溅射不连续的ZnO、Al2O3、InO等薄膜，传感器背面溅射30μm的Ni80Cr20电阻合金作为传感器加热电阻，用薄膜热电偶测量传感器工作温度。测试了不同的复合膜对传感器灵敏度和选择性的影响，并对传感器的吸附与解吸速度进行了测试，薄膜传感器达到相同灵敏度所需的工作温度比粉末烧结型传感器下降100～150℃，吸附解吸速度比粉末烧结型快。

关键词：多层膜 烧结型气敏传感器 磁控溅射 

单位：扬州大学机械工程学院 扬州225009