摘要：传统半导体测试系统有两种组成形式,一种是基于台式分立仪器组建,通过GPIB等仪器控制总线连接,这种架构的好处是结构简单、组合与分拆方便,既可合起组成系统又可分立完成独立测试,但缺点是构架稳定性差、测量通道资源少、不易维护、不利于生产线大批量测试用;另一种形式是自动测试系统(ATE),如爱德万93000等,ATE系统资源丰富、功能强大,是目前集成电路量产测试的主要设备,主要用在封测生产线上,其缺点是成本高、专用性强、维护保养难度大。介绍了一种基于NI公司的虚拟仪器系统自动测试系统,此系统由多通道PMU、高速LVDS I/O、电源、SMU等多种模块化仪器组成,结合自行设计的高性能信号路由、机箱,配以必要的外部仪器、DUT LoardBoard板,组成功能全面的混合信号自动测试系统。测试系统采用LabVIEW和TestStand编程,界面友善、通用性强。该系统现已完成14位2GSPS D/A转换器测试开发,指标满足要求。

关键词：虚拟仪器 高速 自动测试 混合信号 

单位：模拟集成电路重点实验室; 中国电子科技集团重庆声光电有限公司