摘要：压电陶瓷执行器的迟滞特性会降低星间激光通信精瞄系统的定位精度,对信标光的捕获以及链路的稳定性造成影响。针对这一问题,通过分析压电陶瓷执行器迟滞特性产生机理,提出一种基于PLAY迟滞算子的改进（Prandtl-Ishlinskii,PI）数学模型及其辨识方法,并利用该模型对压电陶瓷执行器迟滞特性进行前馈线性化逆补偿。并通过实验来验证数学模型和线性化的有效性,实验结果表明,通过对系统输入不同频率下等幅和减幅正弦控制信号来验证前馈逆补偿性能时,改进的模型最大拟合误差均在1%之内,通过前馈模型逆补偿的控制方法可使压电陶瓷驱动的线性度误差由5%减小到1%以内,并且改进PI模型在计算复杂度上由O（n）简化为O（1）。

关键词：快速倾斜镜 压电陶瓷执行器 迟滞特性 改进pi模型 

单位：哈尔滨工业大学控制科学与工程系; 黑龙江150001; 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所; 黑龙江150001