摘要：针对MEMS开关在宽带应用时遇到的驱动信号与微波信号间的干扰问题,论述了驱动信号与微波信号物理隔离的多种开关的设计,分析了4种结构形式的MEMS开关,使用IntelliSuite 软件进行开关机电耦合分析.在开关总的结构尺寸确定的前提下,使用ADS/Momentum场分析软件,微调膜桥和梁的结构参数,通过通孔接地实现微带线与CPWG信号的连接,通过驱动电极的结构和连接方式及与微波信号线间隙的调整,实现了MEMS开关整体性能的优化.

关键词：mems开关 隔离 机电耦合 电磁场 

单位：东南大学; 南京; 210006; 南京电子器件研究所; 南京; 210016; 南京电子器件研究所; 南京; 210016; 东南大学; 南京; 210006