摘要：介绍了基于偏摆误差实时补偿的高速高精度机器人系统的组成及工作原理,讨论了机器人的偏摆误差检测原理,设计了电容式偏摆误差检测传感器和基于双层平行板弹性铰链结构、PZT直接驱动的微驱动补偿工作台。实验结果表明,采用微动工作台实时补偿宏动工作台直线运动的偏摆误差,可使机器人的运动性能得到较大提高。

关键词：误差补偿 实时 电容传感器 微驱动 机器人 

单位：哈尔滨商业大学; 哈尔滨150028; 哈尔滨工业大学; 哈尔滨150001; 江西科技师范学院; 南昌330013