摘要：针对微零件装配工艺的需要，开发了一套基于压电陶瓷驱动的微夹钳，建立了压电陶瓷驱动微夹钳位移与电压的关系模型，针对压电陶瓷迟滞现象提出了基于Dahl模型的前馈补偿控制和PID混合控制算法，微装配实验证明该模型结构控制效果好，能达到控制要求。

关键词：微夹钳 压电悬臂梁建模 dahl模型 迟滞模型 

单位：华中科技大学 武汉430074