摘要：以超声键合换能系统为研究对象，分析了其俯仰振动对超声键合质量的影响。实验通过激光多普勒测速仪测得换能系统俯仰方向振动的前三阶固有频率，以及安装劈刀前后的前三阶固有频率。由实验结果的分析可知，实测换能系统的前三阶固有频率之比，与悬臂梁简化系统的前三阶固有频率之比大致吻合，表明换能系统俯仰振动的能量主要集中在第一阶固有频率处，劈刀的存在增加了换能系统主要能量集中点的耗散。

关键词：超声键合换能系统 悬臂梁 俯仰振动 劈刀 

单位：中南大学 长沙 410083