摘要：为了满足新型微小型非均质制造技术对微细粉体须进行微量、定量、定点送给的要求，设计了超声振动毛细管微量给粉装置，开发了微量给粉实验系统。用内径120um的毛细管，对直径小于30um的铜粉颗粒进行了相应的实验研究。实验结果表明：超声振动毛细管微量给粉实验系统可以实现微细粉体的微量给粉，给粉速率小于0．3mg／s，且随着驱动电压的变化而改变；控制超声振动持续时间和沉积平台的运动，可以实现粉体的定量、定点给粉，最小给粉量可达0．0026mg；联合控制给粉装置和沉积平台可沉积出点阵、线、面等图案。

关键词：超声振动 毛细管 微量给粉 给粉速率 

单位：西北工业大学 西安710072