摘要：以eM-Plant系统仿真软件为工具,构建出一个虚拟的双臂自动组合装置。该装置克服了传统解析法的缺点,通过仿真模型来描述与分析半导体加工装置的调度问题,是研究人员研究自动组合装置控制问题的有效手段,也是半导体制造工程师验证生产调度的可行性的仿真平台。

关键词：晶圆制造 自动组合设备 仿真 

单位：广东工业大学 广州510006