摘要：提出在设计阶段进行永磁直线同步电动机动子振动预测的方法。利用有限元分析方法对电动机动子进行动力学计算,获得加速度频响函数;对电动机进行电磁力分析,建立电磁力、电流的关系;利用MATLAB对电动机进行瞬态运行仿真,获得瞬态电磁力;运用加速度频响函数得到动子瞬态加速度响应。仿真结果显示：瞬态比稳态振动更复杂。该方法为永磁直线同步电机的优化设计提供依据。

关键词：永磁直线同步电动机 振动 有限元法 超精密机床 

单位：沈阳工业大学 沈阳110178 沈阳化工大学 沈阳110142